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单晶炉漏硅采取措施,凯克斯单晶炉

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2. 定期清洗单晶炉的水箱和水管,清除污垢和积水,避免长时间的使用造成堵塞和漏水。3. 在单晶炉附近设置漏水报警器,一旦检测到漏水就会及时报警,及时处理。如果漏硅事故处理处理方法:1,关闭功率2,关闭真空泵球阀,并且切断真空泵电源3,把复位控制面板上的单晶生长控制器打为手动状态4,充氩气使炉压至0.05PA后关闭氩气5,关闭

单晶炉异常处理二、漏硅& 渗硅漏硅和渗硅的办理在于:拆炉时找到石英坩埚的初始漏点或裂纹,再依据漏点或裂纹状况(地点、形状、异样发生时间等) ,认真剖析突发状况一:断电断水引起漏硅当单晶炉出现这种现象时,已经是属于严重的会危及人员生命安全和引起重大财产损失的事故了。这时首先要将加热器和真空泵关闭,再打开快充氩气至常压,最后打开炉膛

公开的单晶炉漏硅后快速引流装置,在单晶炉炉底外围安装溢流槽,每个排气管道接一个竖直通道,单晶炉共有两个排气管道,每个竖直通道下面接一个溢流槽,共两个溢流严重的硅跳会烧坏单晶炉底,一般在炉底都有碳毡,做保护,但是很多漏硅是顺着坩埚支撑托碗流下的,先开始会在底部看见金属波纹管,出现星点的烧损,就是硅料已经碰到金属波纹管,这时是最

更多“日常工作中如单晶炉出现明火漏硅现象,可以采取的紧急处置措施有()”相关的问题第1题烘炉时,为防止炉体早期出现“大象脚”腐蚀现象,严禁炉底加入()。A首先应关紧迎火的门窗,打开背火的门窗,用湿毛巾、湿布堵塞门缝或用水浸湿棉被蒙上门窗,然后不停用水淋透房间,防止烟火渗入,固守待援。8、跳楼有术,保命力求不损身火灾时有不少人

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