34 第- 1 -页第一章单晶生长条件1.1 设备要求1.1.1 运行条件(以下以TDR-85A-ZJS 炉为例，其余炉型要求参照说明书) (1)冷却水要求水压：炉子进出水压差要求值得一提的是，因单晶炉对水质、水压及流速的特殊要求，方案中采用50M高扬程水泵，保证稳定充足的冷却水供应工艺冷却水系统. 避免冷却水供应不及时造成炉体加热器跳闸、中止单晶炉正
其中直拉单晶炉用以生产硅半导体器件所需的硅单晶材料以16寸热场为主，直拉单晶炉用以生产太阳能电池用的硅单晶材料以18寸热场为主。单晶炉热场零部件除保温毡以外，主要由高纯度等静单晶炉水循环操作示意图单晶炉冷却水系统操作流程现场培训电控柜面板示意绿色指示灯亮为运行灯，红色灯亮为停止三个泵两用一备及应急消防水阀示意图应急消防水支路
＋＾＋ 1、单晶炉设备名称：单晶炉。设备功能：熔融半导体材料，拉单晶，为后续半导体器件制造，提供单晶体的半导体晶坯。主要企业(品牌): 国际：德国PVA TePla AG公司、单晶生长条件1.1 设备要求1.1.1 运行条件(以下以TDR-85A-ZJS炉为例，其余炉型要求参照说明书)(1)冷却水要求水压：炉子进出水压差要求介于23公斤之间，真空泵进出
ˇωˇ 新能源汽车热管理系统在传统燃油车基础上主要新增了电池冷却板(Chiller)、电子水泵、热泵系统/PTC加热器(Positive Temperature Coefficient,正温度系数热敏电阻)、电动压缩机、电水冷热屏里有冷却水流动，距离晶棒的固液界面近，能带走大量的热场，通过调整水冷热屏的距离固液界面的距离，可以带走不同总量的热量，这样就可以改变温度场，获得
25.本实用新型主要用于直拉单晶炉内水冷热屏的延伸导热，下面先简述一下直拉法的过程：将硅原料装入石英坩埚中，石英坩埚上方设有一个可升降、可旋转的籽晶杆，该2.2 装炉2.2.1 装炉前检查(1仔细察看上炉生产记录，确认运转正常，设备完好；2检查设备传动润滑部件是否正常；3检查导向定位部件是否安装牢固，炉室提升环是否紧固；4确认车间供电正常；
