单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉需要控制的内容包含晶体的直径、温度(功率)、原料(硅料)单晶炉用炉底加热器工作原理为:通过石墨螺栓孔21固定加热电极,通电后发热体1开始发热,对上部石墨埚底3进行加热,石墨埚的内部放置有石英坩埚4,石英坩埚4内装有
直拉单晶炉机械结构的工作原理:在惰性气体(氩气)环境中,用石墨电阻加热器将多晶硅材料溶化,在特定温度区域内基本原理:多晶体硅料经加热熔化,待温度合适后。经过骸籽晶浸入,熔接,引晶,放肩,转肩,等经,收尾等步骤,完成一根单晶锭的拉制。金属单晶,由于所有的真空系
1.丝杠、螺母有污物,润滑不良2.电磁离合器工作不良3.同步带松动或工作不良4.给定电位器接触不良5.测速电机有问题6.电机抖动1.清洗丝杠螺母,加注润滑油2.调整电磁离合器间隙冷却水流量传感器装在炉体总回水管,其作用是万一水流断开后30秒切断加热器电源。单晶炉生产工艺生产工序:加料熔化缩颈生长放肩生长等径生长尾部生长(1)加料:将多晶硅原料及杂质
) 2.设备的工作原理概述:本设备采用软籽晶轴提升机构,显著降低了单晶炉的高度,因而在一般厂房中即可安装使用,便于装配维修和拉晶操作,同时实现了籽晶轴转速稳定的效果。本设备在性能和控制上都单晶硅生长炉原理首先,把高纯度的多晶硅原料放入高纯石英坩埚,通过石墨加热器产生的高温将其熔化;然后,对熔化的硅液稍做降温,使之产生一定的过冷度,再用一根固定在籽晶轴
∪△∪ ——单晶炉用炉底加热器工作原理为:通过石墨螺栓孔21固定加热电极,通电后发热体1开始发热,对上部石墨埚底3进行加热,石墨埚的内部放置有石英坩埚4,石英坩埚4内装有多晶硅料5,通过加热器是单晶炉热场的重要组成部件之一,如图I所示时,加热器包括加热器本体11’、支撑部12’以及导流面13’其中支撑部12’是加热器与石墨电极的连接部件,通过设置在加热器支