(1)机架。单晶炉的机架是单晶炉的支掙装置,由铸铁底座、下立柱和上立柱组成。单晶炉机架的下面有钢9.7公众意见采纳情况141 9.8项目可行性结论141 附件:1)乌海10GW高效单晶硅棒项目环境影响评价委托书(2020年3月),附件1;(2)投资项目同意备案告知书(2020年3
籽晶旋转提升机构俗称提拉头,主要由安装盘、减速机、籽晶腔(真空腔)、划线环、快速电机、慢速电机、旋转电机、离合器、磁流体、钢缆、籽晶称重头、软波纹管等其他部件组成。提拉头的主要功能有加热器是热场中很重要的部件,是直接的发热体,温度最高的时候可以达到1600℃以上。常见的加热器有三种形状,筒状、杯状、螺旋状。目前绝大多数加热器为筒状,硅单晶分厂CZ1#
地方,是单晶炉的心脏。主炉体的炉壁是用不锈钢制成的,全部是双层的,其夹层内通冷却水。主炉体内安装有熔硅装置,熔硅装置由保温层、加热器和盛装多晶硅原料5、配料:对拉晶的硅料型号进行匹配。6、单晶炉拉晶:7、硅棒检测:检查有无位错,棱线断等现象。8、开断:将单晶硅棒用带锯条切割成四方体。9、包装:将开断后的单晶硅棒进行包装,送至下一道工序1
现在的直拉单晶炉,晶体生长是在高温下进行的,根据硅的化学性质要求,必须在真空条件或保护气氛下才能避免氧化,因此单晶就有了真空系统、氩气供气系统及炉壁保温及部分部件的水冷控制单晶炉提拉头是提拉法单晶炉最为重要的组成部分,安装在单晶炉副室的顶端,主要实现籽晶棒升降与旋转功能。电子滑环为确保位于安装平台上方的卷轮机构和称重机构在旋转状态下的电力