单晶炉1990-09 通常指用单晶拉制法制备单晶的设备。主要由四个部分组成:1.加热系统和熔池;2.拉杆提升、旋转和坩埚旋转的传动体系;3.真空及充、放气系统;4.冷却系统。参见“单2、真空及氩气供给部分:在第三张简图的底部有一个箭头标识“至机械泵”,随着炉体的尺寸不同,现在的真空泵已经从70机械真空泵变成更快、抽力更大的罗茨泵等泵系列,泵主要作用是抽真
组成炉筒:包括取光孔下炉筒:包括抽真空管道底座机架:全铸铁机架和底座坩埚下传动装置:主要由磁流体电机坩埚支撑轴减贤集网通用设备频道讯:单晶炉炉体(包括炉底板、主炉室、炉盖、隔离阀室、副炉室、籽晶提升旋转机构和坩埚提升旋转机构)由304L不锈钢制造。所有腔体都经过缺陷炉室检查和探伤检验,并
(=`′=) 电陶炉单晶单晶炉是有那五大系统组成的?显示全部 关注者2 被浏览255 关注问题写回答邀请回答好问题添加评论分享1 个回答默认排序凯德利冷水机同名公众号,单晶炉构成:提拉头:主要由安装盘减速机籽晶腔划线环电机磁流体籽晶称重头软波纹管等其他部件组成副室:主要是副室筒以及上下法兰组成炉盖:副室连接法兰,翻板阀,观察
(°ο°) 炉盖:副室连接法兰,翻板阀,观察窗抽真空管道组成 炉筒:包括取光孔 下炉筒:包单晶炉简介:单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉构成:提拉头:主要由