其中，炉壳1、石墨壳2、保温夹层3、旋转电机4、旋盘5、坩埚6、导流瓣7、第二固化碳毡层3a、第一固化碳毡层3b。具体实施方式根据图1-3对本实用新型做进一步说明：一种带有固化1.1重新进行驱气程序并抽空。1.2 打开单晶炉和过滤器并检查其“O”型环安装情况，用酒精擦干净进行二次安装，若“O”型环损坏则通知维修更换。1.3 检查真空泵和泵油有无异常。若泵油较少，则添加适
?＾? 看你是什么氧化了，如果是籽晶氧化，你看看是不是存在倒气过程，是不是倒气的时候氧化了。再有一个可能就是在拉制的过程中设备内部漏水，也可能造成氧化否则进行以下检查：1.1 重新进行驱气程序并抽空。1.2 打开单晶炉和过滤器并检查其“O”型环安装情况，用酒精擦干净进行二次安装，若“O”型环损坏则通知维修更换。1.3 检查
(1)单晶炉的主进水水表有轻微的摆幅及车间内的主、出进水水管有明显的嗡嗡声。外部工艺冷却水水压波动，管道水含有其他物质(由于工艺冷却水都是从水池抽出传输到单体单晶炉，一池水需有益效果：本发明通过在单晶炉抽空管道的最前端增加一个进空气管道，进空气管道上的空气开关开启后可以通过该进空气管道向抽空管道中输入空气，进而对管道壁、过滤器等沉积挥发
一种单晶炉防爆安全装置，单晶炉的抽空管道上设置有抽空过滤器和真空泵，从而利用真空泵将单晶炉内的挥发物吸入抽空管道和抽空过滤器内，防爆安全装置包括与抽空管道连通的输气59.一种设置防漏硅内衬管的单晶炉抽空管道60.一种大尺寸单晶炉用上隔热屏的夹具结构61.一种直拉硅单晶炉防漏硅的排气管道装置62.一种单晶炉用可提升复合式
1、首先当单晶炉的抽空捡漏异常，其处理是加强真空室分段检验。2、其次是准确找出相应漏点，并且及时排除故障。3、最后是在磁流体密封的地方，按照要求加注磁液即1.观察炉内硅液面有明显下降，炉压有明显回升现象，即可能漏硅。2.立即关闭加热功率。3.关闭抽空球阀，充氩气至-0.05pa左右，关闭氩气。4.复位控制柜面板上单晶生
