单晶炉提拉系统的运行过程中，单晶硅的晶体生长过程是连续的，同时对单晶硅晶体直径尺寸的精度有着很高的要求，所以要求单晶硅的提拉系统具有非常高的快速性和区通江西路218(74)专利代理机构杭州中成专利事务所有限公司代理人(51)Int.CI权利要求说明书说明书(54)发明名称一种单晶炉提拉头动平衡调试装置(57)摘要本发明
单晶炉提拉装置原理
⊙﹏⊙ 驱动装置提供籽晶提拉绳4移动的动力，从而通过籽晶提拉绳4带动籽晶夹具5移动，进一步实现带动拉晶获得的晶棒8(示例性的，可以是单晶硅棒)移动。10,真空泵以及真空除尘装置：油压真空泵水环真空泵过滤器真空管道硬波纹管等11,电源以及电控柜：电源柜滤波柜控制柜以及连接线。导电滑环作为单晶炉上一个重要的零配件，也起
单晶炉提拉装置图片
坩埚、加热装置、水冷热屏、保温筒、导流筒及晶体提拉装置，单晶炉还包括埚邦、保温件和隔热件，其中，坩埚容置于埚邦内，埚邦的内壁的至少部分沿埚邦的圆周方向凹SP-MSM-4CZ是一款采用4电弧的提拉法单晶生长炉(采用Ar气电弧对样品熔融，提拉装置提拉),其温度可达3000℃。腔体为304不锈钢腔体(带有水冷夹层),真空度可达10-5Torr.此款单晶炉特别适合生长高熔点的
单晶炉提拉装置工作原理
我国半导体材料工业迅速发展，国内半导体材料制造厂家大量引进美国KAYEXCG3000型软轴提拉单晶炉。为满足我国半导体材料工业不断发展的需要，1988年西安理工大学工厂承担了国家七五科技攻关项目，本发明提供一种单晶炉提拉头校准装置，包括：与重锤连接的固定部；校准部；以及用于连接所述固定部和所述校准部的连接部；所述固定部、所述连接部和所述校准部同轴心设置；所述校准
单晶炉提拉头图解
⊙ω⊙ 直拉单晶炉是用于直拉法单晶生长的设备。炉子分两部分组成：机械部分和电控系统。炉体为一带水套的不锈钢炉室，其内装有由石墨加热器和石墨保温套构成的热场。籽晶轴和坩埚轴分别从炉室顶部和底部29.一种液口距定位装置、方法及单晶炉30.一种炉底固化毡及单晶炉31.一种单晶炉炉筒清理装置32.应用于单晶炉的底部法兰33.一种新型直拉单晶炉用组合加热器34.单晶炉提拉头动态
